新如科技深耕半導體與材料科學領域，提供精密塗佈顯影設備、ATE 測試機、精密治具與客製化硬體技術開發，與您一同創造無限價值。
探索服務項目多維度一站式技術支持，滿足研發、工程與量產的嚴苛需求
高精密與高重複精度設計，滿足最敏感的微米級失效分析
利用高頻超聲波精準檢測器件或材料內部的缺陷。對粘結層面的氣孔、裂紋、夾雜和分層極為敏感。廣泛應用於失效分析、可靠性工程、製程控制及研發領域。
同步支援反射式 (C-Scan) 與穿透式 (T-Scan) 掃描，具備表面追蹤 (FSF) 自動跟蹤表面成像技術。
| 掃描速度 | 線性伺服馬達，最高可達 2000 mm/s |
| 掃描重複精度 | XY 軸 ≤ ±0.5 μm |
| 探頭適配範圍 | 1 MHz - 230 MHz (解析度可達 5 μm) |
| 有效掃描範圍 | 400 mm x 400 mm |
| 設備尺寸 | 1150 (長) x 1040 (寬) x 1500 (高) mm |
豐富經驗積累，為全球客戶創造可持續的卓越價值
與各大晶圓廠 (Fab) 深度合作多年，塗佈顯影與清洗製程均已通過一線驗證並取得批量訂單。
核心零部件自主可控，不受外部供應鏈制約，提供量身訂做的專業客製化服務。
備有 Advantest V93K/EXA、Teradyne J750/UltraFlex/Magnum2、V50/S100 等完整 ATE 開發測試環境，可滿足工程開發、小型量產與板卡驗證。
無論是客製化硬體機構設計、設備租賃買賣與維修，還是半導體製程優化，我們將隨時提供最專業的技術解答與支援。
本機台架構由高鋼性大理石平台、不鏽鋼抗干擾水槽、高頻專用超聲波探頭及高精度線性伺服驅動馬達構成。透過專用耦合水介質，能夠在排除機械形變的干擾下，完成高精密無損探傷。
結合高度整合的主控軟體，操作人員可從多維度波形分析各層粘結結構之健康狀況。
探頭產生高頻電脈衝，並轉換成聲波信號，通過水介質傳遞至物體表面。
聲波遇到不同聲阻抗介質交界面時（例如裂縫、空洞或分層），會發生特定偏折、反射或透射。
探頭收集經偏折或反射後的聲波信號，再次轉換為高動態電信號並由軟體還原成多種二維斷面圖示。
廠內配備有專屬的高精密量測系統，可在同一水槽中靈活適配 1 MHz 至 230 MHz 的多頻段探頭，藉此兼顧廣域深度掃描與精細晶片失效分析。
高精度的伺服電機，保證每次運行過程皆可將震動影響降至最低，從而展現絕佳的檢測一致性。
提供更高的空間分辨率（可達 5 μm），用於極薄介面或精密倒裝晶片內部缺陷。但因其衰減快，穿透深度較淺。
穿透能力強，能深入檢測大型功率模組 or 金屬基板等厚重物料，但其成像解析度會相對受到限制。
自主研發設計製造國外同等級設備，國產化自主可控率高達 90%。涵蓋從小規模實驗室、中試線至一線晶圓廠大批量生產規模：
| 設備型號系列 | 對應晶圓尺寸 | 配置與產能 (WPH) | 適用製程與材質 |
|---|---|---|---|
| JM-200/300 系列 | 8吋、12吋圓片 | 2C2D / 4C / 4D 產能：100+ |
i-line, G-line, KrF, ArF, Barc, PI, SOG, SOC 等 基底：Si, Glass 等 |
| JM-200 系列 | 6吋、8吋圓片 | 2C2D / 4C / 4D 產能：150+ |
兩種尺寸雙相容（免換零部件） 基底：Si, Glass, Sapphire, GaAs, SiC, LN/LT 等 |
| JM-150 系列 | 4吋、6吋圓片 | 2C2D / 4C / 4D 產能：100+ |
MEMS, IGBT, LED, 射頻整合等 適用 i-line, G-line, KrF 等光阻製程 |
| IDM/LAB 系列 | 2吋 ~ 12吋 (方片 or 圓片) |
全自動：1C1D, 2C, 2D 半自動：1C, 1D |
全自動適用於中試線；半自動適用於科研與實驗室 可彈性對應低粘度與高粘度光阻劑 |
利用專利光阻溶劑預處理製程及高精度 PR Pump，在保證極致塗布均勻性的前提下，巨幅降低生產成本：
RRC光阻節省與均勻性數據圖表
塗佈腔體流體仿真與隔膜泵硬體圖
顯影模組硬體與動作示意圖
自研直驅中空馬達與三叉手臂外觀
基於 Windows 操作系統，預留 SECS/GEM 標準工業通訊介面，與晶圓廠內 EAP 系統無縫對接。介面經過特別設計，具備高防呆與直覺流暢性：
針對全球主流 ATE 測試機型號（如 Advantest, Teradyne 等）進行客製化結構機構設計與應力仿真。具備高剛性、多軸微調高自由度移動平衡架構，實現精密流暢對接。
ATE 測試機客製化支架機構圖
承接測試機頭與分類機 (Handler) / 探針台 (Prober) 精確介面對接，保障萬級高速差分訊號通道傳輸鏈結穩定零衰減：
| 主流機型對應支援 | Docking 連接對接組件配置 | Pogo Tower 探針塔核心規格 | 整套客製化工藝亮點 |
|---|---|---|---|
| 宏泰科技 MS8000 | 專用精密滑軌與快鎖凸輪槓桿機構 | 高耐磨黃金電鍍複合彈簧雙頭針 | 表面高硬度陽極硬化、高耐磨防鏽處理 |
| 加速科技 2500EX | 定位銷精準度快鎖組件 | 低阻抗、高頻寬訊號同軸探針塔 | 多層導向精密同軸定位孔導向加工 |
| 長川科技 8290D | 氣壓複合式自動 Docking 互鎖防呆系統 | 高密度高平整度 Pogo 訊號模組 | 防靜電 ESD 材料隔離防護，防錯位插梢 |
| Chroma 3380P / 3380Q | 手動高拉力/自動型防形變 Docking 組件 | 3380 專用大排數高速探針塔架構 | 精密治具框體超低公差平面度 |
| YTEC S100 / 華峰 8300 | 重型安全互鎖型防墜對接軌道座 | 雙面高屏蔽多通道硬體連接塔 | 航太級超輕量高強度合金鋼減少應力形變 |
針對 Load Board 及 Probe Card 在長期承受探針向下高下壓力 (Contact Force) 下引起的變形問題設計：
高精密 Stiffener 固定加強件
專為機頭對接提供測試介面固定槽，整合訊號電路卡與針卡硬件保護：
測試介面轉接與固定 Card Holder
提供無塵室產線內部高敏感貴重測試組件安全搬運及保養清洗解決方案：
測試機非標準運輸車